Сто лет назад,
ну, не сто, а года 2-3, я писал в какой-то из конференций про разные виды пластин. Тогда же кто-то из участников произнес сакраментальное слово "бинарные" в описании ИК-чувствительных пластин, на что я ответил, что они не могут быть бинарными, так как, кроме экспонирования, есть еще и химическая реакция. В результате химической реакции растворяется не только покрытие пробельных элементов, но и печатные. Например, на пластинах Термостар разница в скоростях травления покрытого и не покрытого маской слоев достигает 30 раз. То есть, за время травления слоя толщиной 2-3 мкм печатный элемент подтравливается на 1/30-ю этого, или примерно на 0.1 мкм сверху, где он закрыт маской, и на те же 2-3 мкм с боков, где он маской не закрыт. То есть, для нарисованной точки диаметром 20 мкм имеем после травления диаметр 20-(2..3)*2=14-16 мкм. Для точки диаметром 40 мкм имеем 40-(2..3)*2=34..36 мкм. Посчитаем потери площади: для 20 мкм - 36..50%, для 40 мкм - 19..28%. Линейность наблюдается? А бинарность?
|